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小型化學氣相沉積薄膜類制備設備管式爐

簡要描述:廣州金程科學儀器公司供應的科冪TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一東列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點。小型化學氣相沉積薄膜類制備設備管式爐

  • 產(chǎn)品型號:TFC-1200-60-I-440
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-08-07
  • 訪  問  量:1449
詳細介紹
品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)10℃/min/min
內部尺寸Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)mm加熱方式K型熱電偶,集成式觸摸屏控制
最大功率3000kW控溫精度1℃
最高溫度1200℃價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應用領域化工

廣州金程科學儀器公司供應的科冪TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一東列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點。小型化學氣相沉積薄膜類制備設備管式爐

 

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐特點:

 

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;

 

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;

 

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。

 

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微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐參數(shù):

型號:

TFC-1200-60-I-440

爐管尺寸:

Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)

最高溫度:

1200℃(短期)

工作溫度:

1100℃

升溫速率:

≤10℃/min

加熱區(qū)長度:

440mm

額定功率:

3kW

適配電源:

AC220V 50/60Hz

溫控系統(tǒng):

K型熱電偶,集成式觸摸屏控制

控溫精度:

±1℃

密封系統(tǒng):

爐管兩端配有快開式密封法蘭

外形尺寸:

620*420*580mm

氣體量程:

100~1000SCCM

氣路數(shù)量:

2~4路(MFC)

氣路工作溫度:

5~45℃

VRD-8:

最大承載量:1000Lbs;

抽氣速率:10m3/h;

極限真空度:10-1Pa

真空度:

雙極旋片機械泵:極限10^-1Pa 

分子泵機組:極限10^-3Pa

 

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐TFC-1200-60-I-440信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供小型化學氣相沉積薄膜類制備設備管式爐


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